就热力系本身而言，热力学仅对平衡状态进行描述，“平衡”就意味着宏观是静止的；而要实现能量的转换。热力系又必须通过状态的变化，即过程来完成，“过程”就意味着变化，意味着平衡被破坏。为使“平衡”和“过程”这两个矛盾的概念统一，故引入准平衡过程，它是指在无限小势差的推动下，由一系列连续的平衡态组成的过程。它的实现条件是：推动过程进行的势差无限小，这样可保证系统在任意时刻皆无限接近于平衡态。建立准平衡过程概念的好处：可以用确定的状态参数变化描述过程；可以在参数坐标图上用一条连续曲线表示过程。

可逆过程是指热力学系统在状态变化时经历的一种理想过程。热力学系统由某一状态出发，经过某一过程到达另一状态后，如果存在另一过程，它能使系统和外界完全复原，既使系统回到原来状态，同时又完全消除原来过程对外界所产生的一切影响，则原来的过程称为可逆过程。