1.不同原理的真空机组可以达到不同的极限真空度；

2.密封性越好，漏气率越低，真空越好；

3.材料的放气量，不同材料的放气量不同，一般高真空及超高真空设备的真空室选用不锈钢材料；

4.真空室的清洁度，如果真空室内有油，酒精，水之类的可凝性气体，当真空度上升时这些成分会气化分解，对高真空设备影响很大；

5.处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用真空度表示。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即真空度等于大气压强减绝对压强，若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。从真空表所读得的数值称真空度。