真空镀膜设备里的真空泵具有抽真空作用，因为在进行真空镀膜的时候，薄膜材料要先蒸发成为原子或分子，然后以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成一层薄膜。 真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
金原东
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